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拉曼光譜與激光誘導擊穿光譜(LIBS)相結合的優點是將兩種互補的分析方法耦合起來:利用 LIBS 可以獲得樣品在檢測點的元素組成信息,而拉曼光譜則可以揭示分子、晶體或礦物學結構。將 Raman/LIBS 測量結合起來的另一個好處是有機會獲得深度信息。也就是說,在同一點重復激光燒蝕穿透表面時,樣品的結構特征。LIBS 或 Raman/LIBS 實驗的這種特殊優勢已經在厚度為 1μm 到 30μm 的薄膜上得到了廣泛的證明,例如對鋼上的鋁層的分析、涂料層的地層調查和聚合物涂層金屬的。
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